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日本CANON ANELVA真空計(jì)M-833HG
南京易鳴機(jī)電設(shè)備有限公司是一家集營(yíng)銷(xiāo)的綜合型貿(mào)易公司,注冊(cè)資本300萬(wàn),公司擁有穩(wěn)定、高效、優(yōu)質(zhì)、快捷的供貨渠道。易鳴主營(yíng)日本原裝全新的進(jìn)口工業(yè)泵、電磁閥、傳感器、UPS電源、流量計(jì)、加熱器、儀器儀表、連接器、變壓器、信號(hào)燈、壓力開(kāi)關(guān)、工類(lèi)耗材、機(jī)械設(shè)備及安全防護(hù)等,歡迎新老客戶來(lái)電或在線咨詢。
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產(chǎn)品品牌:日本CANON
產(chǎn)品名稱(chēng):真空計(jì)、離子規(guī)
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具體規(guī)格型號(hào)如下所示:
特長(zhǎng):
ワイドな圧力測(cè)定範(fàn)囲
10-7Pa~10Paまで、超高真空側(cè)の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領(lǐng)域まで測(cè)定可能
高応答アナログ出力
圧力値のアナログ信號(hào)出力は、100msec以內(nèi)と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能
4つのエミッション電流設(shè)定モード
高圧力領(lǐng)域側(cè)での使用時(shí)のフィラメント壽命改善など、用途に合わせ選択が可能
特長(zhǎng):
豊富な外部制御機(jī)能により完全な遠(yuǎn)隔操作が可能
セットポイントを2點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)裝備
最大4ヶのオプションボード取付け可能で機(jī)能拡張性が充実
(注記:GP-IBオプションには未対応)
RoHS、CEマーキングに対応
用途:
自動(dòng)化真空裝置の圧力計(jì)測(cè)
スパッタなどのプロセス圧力の測(cè)定、制御
マルチチャンバシステムでの圧力測(cè)定
一般真空裝置の圧力測(cè)定
規(guī)格尺寸:
型 名 M-833HG
測(cè)定球 ミニチュアゲージMG-2シリーズ
圧力表示範(fàn)囲 0.1×10-7~9.9×100Pa
圧力表示 測(cè)定レンジ自動(dòng)切換
セットポイント 2點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)裝備(オープンコレクタ)
D/A出力 0~10V:仮數(shù)部出力、指數(shù)部出力
0~11V:複合出力又はLOG出力
アナログ出力 APCモード設(shè)定時(shí)(0.1~2.5V)
(エレクトロメータ出力) ノーマルモード設(shè)定時(shí)(0.1~1.6V)
INPUT フィラメントON/OFF
外部制御機(jī)能 デガスON/OFF
(リモート操作) 等6種類(lèi)の外部制御機(jī)能
OUTPUT 6種類(lèi)のステータス信號(hào)出力
特殊機(jī)能 APC対応:レンジホールド機(jī)能
エレクトロメータ出力機(jī)能
寸法/質(zhì)量 H99×W209×D330、1.9kg
所要電力 100~240VAC
100VA以下、50/60Hz
エミッション電流 10μA、100μA、1mA自動(dòng)切換設(shè)定又は固定設(shè)定
ガス出し グリッド通電加熱方式
フィラメント切換 キー及び、リモートI/O操作
フィラメント保護(hù) オーバーレンジ設(shè)定値又はエミッション電流±50%の変動(dòng)
標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)成 真空計(jì)本體(測(cè)定球及びケーブルは構(gòu)成品に含まれません)
RoHS,CEマーキング 対応
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